Hệ thống kiểm tra wafer Olympus 12 inch Các tính năng chính:

● Truyền tải mạnh mẽ, đáng tin cậy và an toàn

Hệ thống kiểm tra wafer Olympus 12 inch tiếp tục duy trì độ bền, độ tin cậy và an toàn của các mô hình thế hệ trước, cung cấp wafer 300 mm một cách an toàn và đáng tin cậy, và wafer Warped cũng có thể được vận chuyển an toàn.

● Thiết kế công thái học, dễ vận hành

Hệ thống kiểm tra tinh thể Olympus 12 inch có thể tự do thiết lập chế độ kiểm tra, thiết kế xem xét tính thao tác trong công trình hậu đạo, đặc biệt chú trọng tính đơn giản thao tác của thiết bị. Tương ứng với hai mô hình FOSB và FOUP (Load Port).

Tối ưu hóa tối đa các vị trí quan sát vĩ mô của hệ thống kiểm tra wafer Olympus 12 inch và sắp xếp tập trung các đơn vị hoạt động, cải thiện khả năng vận hành của thiết bị.

Hệ thống kiểm tra wafer tự động 300 mm AL120-12 Thông số kỹ thuật