Tổng quan

STACIS IIIc là phiên bản nhỏ gọn của hệ thống cách ly rung động chủ động STACIS III *. Nó cung cấp sự cô lập rung động tuyệt vời tương tự ở độ cao giảm.

STACIS IIIc là lý tưởng để sử dụng trên sàn di động không có hoặc sàn rất thấp vì chiều cao của hệ thống STACIS III tiêu chuẩn có thể làm cho thiết bị quá cao.

Trong cấu hình bộ cách ly ba, chiều cao của bộ cách ly nhỏ hơn 60% chiều cao STACIS III thông thường. Trong các hệ thống có nhiều hơn 3 bộ cách ly, chiều cao sẽ dao động từ 60 đến 70%, tùy thuộc vào cài đặt tải trọng. Xem thông số kỹ thuật bên dưới để biết thêm chi tiết.

Ưu điểm của STACIS IIIc

So với hệ thống STACIS III thông thường, chiều cao cách ly ** giảm 42% trong khi hiệu suất không giảm.

STACIS mạnh hơn hàng trăm lần so với bộ cách ly không khí và không có bất kỳ hạn chế nào của hệ thống cách ly không khí. Nó không có hệ thống treo "mềm" và không giống như hệ thống không khí hoạt động, STACIS có thể được đặt bên dưới các công cụ với hệ thống cách ly rung không khí hoạt động bên trong, cho phép cả hai hệ thống hoạt động ở trạng thái *.

Thiết kế nối tiếp độc đáo và công nghệ áp điện cao độc quyền

Có thể đạt được băng thông hoạt động rộng từ 0,6 Hz đến 150 Hz và hiệu suất cách ly rung hoạt động 90% bắt đầu từ 2 Hz.

Hiệu suất

Thông số kỹ thuật hiệu suất

Thông số

Thiết kế cách ly rung, kích thước, môi trường và yêu cầu tiện ích

Thông số kỹ thuật của bộ điều khiển DC-2020

Người dùng STACIS và lĩnh vực ứng dụng
1, vi điện tử, chất bán dẫn
▪ Phát hiện chip
▪ Công nghệ Microlithography
▪ Hiệu chuẩn mặt nạ
2, Nghiên cứu khoa học, công nghệ nano
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3, bàn laser
▪ Khoa học đời sống, nghiên cứu và phát triển dược phẩm
4, Ứng dụng công nghiệp
▪ Gia công chính xác

Tại sao chọn Active System?
▪ Loại bỏ mạnh mẽ rung lắc mặt đất bắt đầu từ<1Hz, nền tảng khí nén không thể tạo ra sự cô lập rung động hiệu quả ở tần số thấp này
▪ Cải thiện chất lượng, khối lượng sản xuất
▪ Khả năng hình ảnh nhỏ hơn
▪ Nghiên cứu tiên tiến
▪ Ổn định hơn nền tảng khí nén
▪ ** Giải pháp đáp ứng các thông số cài đặt vị trí tiêu chuẩn SEM
▪ Giảm chi phí xây dựng các phòng thí nghiệm và thiết bị nghiên cứu mới

Tại sao chọn STACIS
▪ Chính giữa tiếng lòng của người nghiên cứu khoa học, cung cấp hoàn cảnh vô chấn tận khả năng.
▪ Hệ thống cách ly rung tần số thấp mạnh mẽ trên thị trường.
▪ Hiện nay tất cả các nhà sản xuất SEM đã công bố các yêu cầu tham số cài đặt, và các thông số rung cần thiết cần một hệ thống cách ly rung tích cực để đáp ứng.
▪ STACIS ** được phát minh vào những năm 1990 và được phát triển hơn nữa bởi TMC, hàng ngàn hệ thống cách ly rung động chủ động đã được phát triển và lắp đặt, đây là giải pháp đáng tin cậy được cung cấp trong lĩnh vực kiểm soát cách ly rung động chủ động.

STACIS cứng hơn hàng trăm so với bộ cách ly khí nénNhân đôi
Thời gian ổn định như một phản ứng với nhiễu loạn, do thiết kế song song độc đáo, và rút ngắn đáng kể, lý tưởng để sử dụng trong sản xuất máy móc, tải động, laser hoặc nguồn ánh sáng cần phải được cài đặt trên mặt bàn cứng độc lập.

Những ưu thế sau đây trong ngành đều là
▪ Băng thông cách ly rung hoạt động của STACIS là 0,6Hz -150Hz
▪ Loại bỏ rung động chủ động 6 bậc tự do, rung 8-10dB ở 1Hz
▪ Từ 2-3Hz, cách ly rung lên đến 90% (20dB)

Khảo sát môi trường chuyên nghiệp
1, điều tra môi trường trước và sau khi cài đặt, bao gồm rung động, từ trường, sóng âm thanh
2. Chứng nhận hệ thống môi trường có thể được cung cấp sau khi cài đặt
▪ Dịch vụ điều tra môi trường hoàn hảo
▪ Lập báo cáo môi trường chuyên nghiệp
▪ Cung cấp rung, từ trường, phát hiện sóng âm và các giải pháp
▪ TMC đề xuất các chương trình tiện ích cho người dùng dựa trên kinh nghiệm sâu rộng của họ
▪ Hơn 40 năm kinh nghiệm trong ngành, trong ngành **

Áp dụng ảnh