Mục đích của việc bảo dưỡng thiết bị ICP:
1) Phát hiện kịp thời các lỗi của thiết bị;
2) Kiểm tra các mối nguy hiểm của thiết bị, phát hiện kịp thời, đề xuất các biện pháp phòng ngừa;
3) Thông qua bảo trì dụng cụ, cải thiện độ nhạy của dụng cụ và kéo dài tuổi thọ của dụng cụ;
4) tăng sự ổn định của thiết bị và đảm bảo tính chính xác của dữ liệu thử nghiệm;
Nội dung bảo trì và bảo dưỡng dụng cụ ICP:
1) Làm sạch tất cả các bảng mạch, quạt và bụi bề mặt dụng cụ
2) Làm sạch máy phun sương, buồng phun sương, nón ánh sáng ban ngày với ống ngọn đuốc
3) Thay thế nước tuần hoàn làm mát, làm sạch đường ống
4) Đầu nối ống chân không, công tắc van điện từ Kiểm tra độ kín Điều chỉnh vị trí khe chùm
5) Kiểm tra hiệu suất bơm chân không, thay dầu bơm, vòng đệm, sàng phân tử
6) Kiểm tra không có rò rỉ khí giữa xi lanh khí và ICP, sự phù hợp của mạch được xác định
7) Kiểm tra khí dụng cụ, cảm biến hỗ trợ khí, làm sạch
8) Bảo trì loại bỏ bụi RF HF Generator, bảo trì buồng ánh sáng chân không
9) Giải quyết sự cố hoạt động của người dùng