Ø Thích hợp cho hầu hết các mẫu, bao gồm vảy, bột, mảnh vỡ, mẫu trong suốt và không trong suốt, không cần phun carbon hoặc phun vàng vào mẫu.
Ø Có thể phân tích khoáng chất hoặc mẫu vật vi mô (tối thiểu 50~100 μm) thông qua các lỗ ánh sáng có kích thước khác nhau và cũng có thể thu được giá trị trung bình của các thành phần chưa biết của khoáng chất bằng cách điều chỉnh kích thước chùm tia.
Ø chùm tia điện tử kích thích huỳnh quang tia X cường độ cao, cường độ lớn hơn so với cường độ kích thích của nguồn kích thích tia X khoảng 4-5 bậc độ lớn, độ nhạy phân tích cao và thời gian thử nghiệm ngắn.
Ø Các mẫu tới chùm electron có độ sâu nông (chỉ khoảng 1-2μm), là phân tích bề mặt thực sự.
Ø Không có tín hiệu nhiễu nào khác được phát hiện ngoại trừ tín hiệu X-quang đặc trưng kích thích, kết quả phân tích chính xác hơn
Ø Phạm vi các nguyên tố mà máy dò có thể phát hiện là 11 (Na)~92 (U). Đặc biệt, kết quả phân tích các nguyên tố chính như Na, Mg, Al, Si, P, S, Cl, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn có độ nhạy cao và khả năng lặp lại đường phổ tốt.
Ø Phân tích đầy đủ, chức năng chẩn đoán tích hợp, hoạt động hoàn toàn tự động, phần mềm phân tích một phím, hoạt động dễ dàng.